ナノから創る環境・エネルギーの素子と材料

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登録日:2013/10/29 / 更新日:2020/02/05

研究分野分類：4406 応用物理学一般
産業分類：電子部品・デバイス・電子回路製造業，その他の製造業

キーワード：ナノマイクロファブリケーション，酸化物エレクトロニクス，センサー，レーザー，プラズマ

総合理工

応用物理学

市川　洋（機能工学専攻）

研究概要　無機、有機の素材から、石炭灰、河川の汚泥などの廃棄物も研究対象です。薄膜化、ナノ化技術により、それら材料の可能性を引き出し、センサーをはじめとするマイクロマシン用部材、光学素子、環境・エネルギー材料への応用を図っています。		特徴 ○ナノ構造作製技術：レーザー、プラズマ、熱を用いた気相法、液体を用いた液相法等、目的に応じたナノ構造体合成 ○複合化技術：ナノインプリント技術を中心とした、二次元、三次元のナノ／薄膜複合構造作製技術
背景・従来技術　ナノ構造材料に関する研究開発が精力的に行われています。ナノ構造材料の性能をさらに引き出し、様々な材料との複合化による新機能材料、素子の開発が望まれています。		実用化イメージ ○ナノ構造の特徴を活かした環境材料の開発；可視光域応答する光触媒材料大量合成技術の開発、ヒートアイランド対策材料の開発など ○界面制御によるフレキシブルデバイスの開発；ナノ界面形成で作る基体を選ばない、フォースセンサー等のフレキシブルデバイスの創成など ○ナノ配列制御技術による高感度センサーの開発；揮発性ガス、紫外線等のセンサーなど